Для цитирования:
Рахадилов Б.К., Сатбаева З.А., Кусайнов А.Е., Найманқұмарұлы Е. Линейная плазменная установка для исследования плазменноповерхностных взаимодействии. Вестник Университета Шакарима. Серия технические науки. 2023;(3(11)):82-90. https://doi.org/10.53360/2788-7995-2023-3(11)-10
For citation:
Rakhadilov B.K., Satbayeva Z.A., Kusainov A.E., Naimankumaruly E. Linear plasma device for the study of plasma-surface interactions. Bulletin of Shakarim University. Technical Sciences. 2023;(3(11)):82-90. (In Kazakh) https://doi.org/10.53360/2788-7995-2023-3(11)-10